高精度微細加工・精密研磨技術、ソルファイン、SOLFINE

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高精度微細加工・精密研磨技術「ソルファイン」

高精度微細加工・精密研磨技術「ソルファイン」

ソルファインとは、新東が持っている各種精密研磨技術や微細加工技術の総称を表すもので新東固有のブランド名です。ソルファインにより、各種素材の表面に新たな機能や価値を創生することができます。
ソルファインは半導体、電子デバイス、ＦＰＤ、太陽電池から自動車、航空機、ベアリング、油空圧など幅広い分野で活用されています。

SOL+FINE⇒SOLFINE（ソルファイン）
SOL ：SOLUTIONを意味し、お客様の課題を解決していく新東の意志を表しています。
　　　　　またラテン語の太陽の意味を持ち、光り輝く技術となることを目指しています。
FINE：精密や微細の加工領域を表しています。

ソルファインと他工法との比較

「ソルファイン」は他工法と比べ、加工精度、品質、コスト、環境対応などにおいて最もバランスに優れています。

【微細加工】
　比較条件：ガラス基板にφ100μｍ　深さ200μｍの穴加工を1000穴以上行なう場合

工法	加工精度	品質	加工コスト	設備導入コスト	加工形状範囲	生産性	環境対応
ソルファイン	○	◎	○	○	◎	○	◎
レーザー	×	△	△	△	×	○	◎
エッチング	○	○	○	△	○	△	×
ドリル	○	△	×	○	×	×	◎
超音波	△	△	△	○	×	○	◎

【表面づくり】
　比較条件：金属製品にRa0.01μｍの平滑研磨を行なう場合

工法	加工精度	品質	加工コスト	設備導入コスト	面粗度範囲	生産性	環境対応
ソルファイン	○	◎	○	○	◎	○	◎
研削	△	△	○	○	△	○	◎
バフ研磨	○	○	○	◎	△	×	○
ラッピング	◎	◎	△	△	△	○	○

品質メリット

●熱による加工変質が極めて少ない。
●クラック、チッピングの発生が少ない。
●対象素材に強い加重をかけないため、素材へのダメージを抑制できます。

ソルファイン１２シリーズ

穴加工技術

ガラスなどの硬脆材料に貫通穴や止まり穴をあけられます。

対象材質

ガラス
シリコン
アルミナ
チッ化アルミ
水晶
石英
フェライトカーボン　etc.

加工精度

	ガラス、Si	アルミナ、チッ化アルミ
穴径	50μm～	100μm～
加工深さバラツキ	±5%	±5%
アスペクト比（穴径：100μmの場合）	片面加工 1：2 両面加工 1：4	片面加工 1：1 両面加工 1：2

各種条件により異なります

応用技術

止まり穴加工
ビアホール加工
二段穴加工

加工事例

ガラス基板の穴あけ
		加工仕様：φ0.8×1.6

セラミックス基板の穴加工

ガラス基板の二段穴加工

シリコンウェハの穴加工

適用事例

センサー基板の穴あけ
サセプターの穴あけ
インターポーザー基板の穴あけ　etc.

センサー基板の穴あけ

溝加工技術

ガラスなどの硬脆材料に溝や流路をほることがます。

対象材質

ガラス
シリコン
アルミナ
チッ化アルミ
水晶
石英
フェライトカーボン
ニオブ酸リチウム
タンタル酸リチウム　etc.

加工精度

	ガラス、Si	アルミナ、チッ化アルミ
線幅	50μm～	100μm～
加工深さバラツキ	±5%	±5%
アスペクト比（穴径：100μmの場合）	片面加工 1：2 両面加工 1：4	片面加工 1：1 両面加工 1：2