マイクロブラスト装置「MICROBLASTER」

微細砥粒を圧縮エアーにより噴射し、ガラス、セラミックス、シリコンウエハ等硬脆材料への穴あけ、溝加工、エッチング、ダイシング等の微細加工を高精度に実現します。
マイクロブラスト工法は、ウエットエッチング、超音波加工、レーザー加工、ドリル加工に替わる全く新しい概念のＭＥＭＳ対応の微細加工技術です。

マイクロブラスト装置「MICROBLASTER」ラインナップ